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Technologien Der Mikrosysteme: Materialien, Prozesse Und Herstellung Halbleiterbasierter Systeme

Technologien Der Mikrosysteme: Materialien, Prozesse Und Herstellung Halbleiterbasierter Systeme

Paperback

Technology & Engineering

PREORDER - Expected ship date November 13, 2026

ISBN10: 3658528567
ISBN13: 9783658528560
Publisher: Springer Vieweg
Published: Nov 13 2026
Pages: 260
Language: German

Dieses Buch vermittelt einen umfassenden Überblick über die Technologien der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik - von Werkstoffen und Fertigungsprozessen über die Herstellung von MEMS und integrierten Schaltkreisen bis hin zu Mikrosensoren und Aktoren. Es richtet sich an Studierende, Ingenieure und Forschende und verbindet physikalische Grundlagen mit modernen industriellen Anwendungen.

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