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Technologien Der Mikrosysteme

Technologien Der Mikrosysteme

Paperback

Technology & EngineeringChemistry

ISBN10: 3658374977
ISBN13: 9783658374976
Publisher: Springer Vieweg
Published: Jan 2 2023
Pages: 246
Weight: 0.92
Height: 0.54 Width: 6.69 Depth: 9.61
Language: German

Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.

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