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Vacuum Microelectronics

Vacuum Microelectronics

Hardcover

Technology & Engineering

ISBN10: 047132244X
ISBN13: 9780471322443
Publisher: John Wiley & Sons
Published: Sep 19 2001
Pages: 416
Weight: 1.66
Height: 0.94 Width: 6.14 Depth: 9.21
Language: English
Die ständig steigenden Anforderungen an die Mikroelektronik lassen sich zum Teil mit Hilfe von Vakuumtechnologien bewältigen: Im Vakuum kann man Bauelemente schneller, mit grö erer Reinheit und zuverlässiger herstellen und zusammenfügen. Anwendungsgebiete reichen von der Herstellung integrierter Schaltkreise bis zu neuen Anzeigegeräten. Das erste Buch zu einem schnell wachsenden Forschungsgebiet!

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