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Semiconductor Device Failure Analysis

Semiconductor Device Failure Analysis

Hardcover

Series: Quality and Reliability Engineering

Technology & Engineering

ISBN10: 047149240X
ISBN13: 9780471492405
Publisher: John Wiley & Sons
Published: Dec 13 2000
Pages: 288
Weight: 1.58
Height: 0.69 Width: 7.00 Depth: 10.00
Language: English
Integrierte Schaltkreise werden immer komplexer - deshalb wird es zunehmend schwieriger, Fehler schnell und treffsicher aufzuspüren. Die Photonenemissionsmikroskopie (PEM) ist eine Analysetechnik auf physikalischer Grundlage, die sich als Fehlererkennungsmethode bewährt hat. Dieser Band erläutert alle Aspekte dieser Methode, von der instrumentellen Ausrüstung über spezifische Details der Mikroskope bis hin zu Merkmalen der Photonenemission unter verschiedenen Bedingungen. (11/00)

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