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Semiconductor Wafer Bonding

Semiconductor Wafer Bonding

Hardcover

Series: The Ecs Texts and Monographs, Book 33

Technology & EngineeringChemistry

ISBN10: 0471574813
ISBN13: 9780471574811
Publisher: John Wiley & Sons
Published: Nov 23 1998
Pages: 320
Weight: 1.25
Height: 0.78 Width: 5.98 Depth: 9.60
Language: English
Bonding - eine Technik zum Verschwei en von Halbleiter-Wafers ohne Klebstoff - wird in der Mikroelektronik, Energieelektronik, Mikromechanik, Optoelektronik und anderen Bereichen verbreitet eingesetzt. Dieser Band sammelt und systematisiert die in der Literatur verstreuten Informationen zum Wafer-Bonding; es finden sich beispielsweise Kapitel zum Bonding bei Raumtemperatur, zur Wärmebehandlung, zum Bonding ungleicher Materialien und strukturierter Wafers. (01/99)

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