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Microstereolithography and Other Fabrication Techniques for 3D Mems

Microstereolithography and Other Fabrication Techniques for 3D Mems

Hardcover

Technology & Engineering

ISBN10: 047152185X
ISBN13: 9780471521853
Publisher: Wiley
Published: Apr 6 2001
Pages: 272
Weight: 1.17
Height: 0.80 Width: 6.10 Depth: 9.20
Language: English
Eine moderne Einführung in das relativ junge Gebiet der Erzeugung winziger Strukturen, die insbesondere zur Herstellung von Mikrosensoren, Schrittmotoren und miniaturisierten Signalverarbeitungseinheiten benötigt werden. Besprochen wird eine ganze Palette von Mikrofertigungstechniken wie Laserablation und LIGA. Angesprochen werden dabei auch modernste Anwendungsgebiete wie organische Dünnschichttransistoren (TFTs), Antennen, drahtlose Telemetriesysteme und Systeme zur Signalweiterleitung.

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