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Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik

Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik

Paperback

Technology & EngineeringPhysics

ISBN10: 3658423773
ISBN13: 9783658423773
Publisher: Springer Vieweg
Published: Oct 27 2023
Pages: 309
Weight: 1.14
Height: 0.68 Width: 6.69 Depth: 9.61
Language: German
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrö en bis zu wenigen Nanometern gleichmä ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.

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