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Sekundärionen- Und Neutralteilchenmassenspektrometrie an Oxidischen Dünnschichtsystemen: Der Einfluß Ionenbeschußindizierter Prozesse Auf Die Sekundär

Sekundärionen- Und Neutralteilchenmassenspektrometrie an Oxidischen Dünnschichtsystemen: Der Einfluß Ionenbeschußindizierter Prozesse Auf Die Sekundär

Lipinsky, Dieter

Paperback

Technology & EngineeringChemistryGeneral Science

ISBN10: 382442066X
ISBN13: 9783824420667
Publisher: Deutscher Universitatsverlag
Published: Jan 1 1995
Pages: 211
Weight: 0.69
Height: 0.46 Width: 6.14 Depth: 9.21
Language: German
In zunehmendem Ma e wird die Verwendungsmöglichkeit vieler technischer Produkte durch die Eigenschaften ihrer Oberflächen bestimmt. Darüber hinaus werden durch ge- eignete Kombination von Volumen-und Oberflächeneigenschaften neue technologische Anwendungen geschaffen. Dabei kommt der Verwendung dünner Schichten in vielen Industriebereichen eine immer grö er werdende Bedeutung zu. Beispielsweise lä t sich die Lebensdauer von Werkzeugen durch das Aufbringen extrem harter Nitridschichten vergrö ern. Die Korrosionsbeständigkeit metallischer Produkte kann in vielen Bereichen der metallverarbeitenden Industrie durch die Ver- wendung dünner Passivierungsschichten erhöht werden. Die Miniaturisierung von in- tegrierten Schaltungen wäre ohne die Entwicklung der Dünnschichttechnologie nicht vorstellbar. Mit aus dünnen Schichten aufgebauten Beschichtungen lassen sich die Reflexions-oder Transmissionseigenschaften optischer Bauelemente gezielt beeinflus- sen. Die Verwendung solcher Schichtsysteme setzt dabei nicht nur eine detaillierte Kenntnis der neu entstandenen Oberflächen und Grenzflächen sowie der Zusammen- setzung und Struktur aufgebrachter Schichten, die sich je nach Herstellungsverfahren deutlich von denen der kompakten Materialien unterscheiden können, voraus. Es mu ferner ihre Herstellung oder gezielte Modifikation in jedem Schritt kontrollierbar sein, um Probleme wie mangelnde Haftung, Konzentrationsabweichungen oder Kontamina- tionen zu vermeiden.

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