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Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen

Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen

Paperback

Series: Mikroelektronik

Technology & Engineering

ISBN10: 3540176705
ISBN13: 9783540176701
Publisher: Springer
Published: Mar 8 1991
Pages: 500
Weight: 1.81
Height: 1.05 Width: 6.69 Depth: 9.61
Language: German
Proze technologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschlu daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtproze für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

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