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Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

Paperback

Technology & Engineering

ISBN10: 3866444966
ISBN13: 9783866444966
Publisher: Karlsruher Institut Fur Techn
Published: Oct 16 2014
Pages: 146
Weight: 0.40
Height: 0.31 Width: 5.83 Depth: 8.27
Language: German
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für grö erer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.

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