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Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisie

Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisie

Paperback

Technology & Engineering

ISBN10: 3731501198
ISBN13: 9783731501190
Publisher: Karlsruher Institut Fur Techn
Published: Sep 3 2014
Pages: 164
Weight: 0.45
Height: 0.35 Width: 5.83 Depth: 8.27
Language: German
In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende, maskenlose Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut, mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander projiziert werden. Es wurden über Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen Polymeren cm gro e Mikrofluidikchips mit 50 m Kanälen in wenigen Stunden hergestellt. Zudem wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5 mm Fläche mit wenige m gro en Pixeln erzeugt.

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