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Matrizes de microdescarga em silício

Matrizes de microdescarga em silício

Kulsreshath, Mukesh Kumar

Paperback

Physics

ISBN10: 6204737740
ISBN13: 9786204737744
Publisher: Edicoes Nosso Conhecimento
Published: Dec 30 2024
Pages: 172
Weight: 0.57
Height: 0.40 Width: 6.00 Depth: 9.00
Language: Portuguese
O microplasma está a tornar-se um tópico importante na comunidade do plasma. Os microplasmas compreendem as descargas de cátodo oco (MHCD), os microjactos e as descargas de barreira dieléctrica (DBD). Todos eles podem funcionar à pressão atmosférica e são plasmas de não-equilíbrio. Entre estes diferentes tipos de microdescargas, as MHCDs aparecem como uma configuração de dispositivo muito promissora para conduzir corrente DC ou AC através de diferentes gases. Neste reator em particular, o microplasma estável é confinado dentro de uma cavidade. Embora tenham sido propostas muitas configurações de dispositivos MHCD, ainda não foram apresentados sistemas integrados envolvendo MHCDs e microeletrónica. O objetivo deste trabalho publicado é propor diferentes tipos de microrreatores de silício fabricados por técnicas de microfabricação, caracterizá-los através de diagnósticos eléctricos e ópticos e testá-los em paralelo para o processamento de gás. Deste modo, pretende-se compreender melhor os fenómenos físicos relacionados com as matrizes de microdescargas fabricadas em silício.

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