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Revêtements interférentiels pour l''optique extrême uv

Revêtements interférentiels pour l''optique extrême uv

Paperback

Series: Omn.Univ.Europ.

Literary CriticismPhysics

ISBN10: 6131545065
ISBN13: 9786131545061
Publisher: Univ Europeenne
Published: Feb 28 2018
Pages: 236
Weight: 0.77
Height: 0.54 Width: 6.00 Depth: 9.00
Language: French
L''élaboration de nouveaux revêtements interférentiels multicouches est motivée par la demande de l''astrophysique solaire et par le développement de nouvelles sources de rayons EUV (source à génération d''harmoniques d''ordre élevé, laser X, rayonnement synchrotron). Nous avons étudié et développé différents systèmes multicouches possédant à la fois des propriétés optiques optimisées (réflectivité et/ou bande passante) et une bonne stabilité temporelle et thermique pour la gamme de longueurs d''onde comprise entre =30 nm et =50 nm. Une augmentation significative de la réflectivité des multicouches dans la gamme spectrale de 30 à 40 nm a été obtenue par l''addition d''un troisième matériau dans l''empilement. Nous montrons également que l''utilisation de ces multicouches à trois matériaux par période permet le développement d''empilements répondant à des demandes spécifiques (miroirs à large bande passante, miroirs à double bande). Pour les longueurs d''ondes comprises entre 35 nm et 50 nm nous avons développé des multicouches à base de scandium.

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Physics