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Microphone Électrodynamique Mems En Technologie CMOS

Microphone Électrodynamique Mems En Technologie CMOS

Tounsi-F

Paperback

Series: Omn.Univ.Europ.

Literary CriticismPhysics

ISBN10: 6131584931
ISBN13: 9786131584930
Publisher: Ed Universitaires Europeennes
Published: Feb 28 2018
Pages: 172
Weight: 0.57
Height: 0.40 Width: 5.98 Depth: 9.02
Language: French
Les microsystèmes (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques, mécaniques et optiques sur la mème puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques du pointe de la microélectronique des semi-conducteurs et les nouvelles techniques du micro-usinage, permettant ainsi la réalisation de systèmes entiers sur une puce (SoC - System on Chip). En plus, cette intégration permettra de miniaturiser le système, d'améliorer ses performances, d'augmenter la sensibilité et de diminuer le bruit grâce à la réduction de la taille des composants et par la suite les capacités parasites dues aux interconnexions. Dans ce cadre vient l'objectif de cette thèse qui a pour but de concevoir et réaliser une nouvelle génération de microphone monolithique de type électrodynamique, à base de bobines spirales planaires, réalisée en technologie standard complétée par un post process de micro-usinage en volume par la face avant.

Also in

Physics

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