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Ellipsometry

Ellipsometry

Hardcover

Technology & EngineeringGeneral MathematicsGeneral Science

ISBN10: 0471181722
ISBN13: 9780471181729
Publisher: John Wiley & Sons
Published: Mar 4 1999
Pages: 248
Weight: 1.11
Height: 0.86 Width: 6.58 Depth: 9.42
Language: English
Mit Hilfe der Ellipsometrie mi t man Dicken und optische Eigenschaften dünner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einführung für ein interdisziplinäres Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)

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